전구체 반응
열분해 (Pyrolysis): 전구체가 고온에서 분해되어 새로운 화합물을 생성하는 반응입니다.
예를 들어, 폴리카보실란이 실리콘 카바이드로 변하는 과정이 열분해입니다.
산화 (Oxidation): 금속 전구체가 산소와 반응하여 금속 산화물로 변환되는 과정입니다.
예를 들어, 구리(Cu)가 구리 산화물(CuO)로 변하는 과정입니다.
환원 (Reduction): 금속 산화물이 수소 또는 다른 환원제로 환원되어 금속이 형성되는 과정입니다.
예를 들어, 산화 철이 철로 환원되는 반응입니다.
응집 (Agglomeration): 전구체 입자가 고온에서 응집하여 더 큰 입자로 형성되는 과정입니다.
이 과정은 재료의 표면적을 감소시켜, 원하는 물리적 특성을 부여할 수 있습니다.
화학 기상 증착 (CVD, Chemical Vapor Deposition): 기체 상태의 전구체가 고온에서 반응하여 고체 재료를 형성하는 과정입니다.
예를 들어, 실란 전구체가 반도체 기판에 증착되어 실리콘을 형성하는 과정입니다.
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