면저항 (Sheet Resistance) 이란?

면저항 (Sheet Resistance) 

 

1. 면저항 (Sheet Resistance) 이란?
면저항(Sheet Resistance)은 박막의 전기적 특성을 나타내는 값으로,

전류가 흐르는 방향에 수직인 면적에 대한 저항을 의미합니다.

주로 반도체, 태양 전지, 디스플레이 등 박막으로 이루어진 소재의 특성을 평가하는 데 사용됩니다.

 

2. 면저항의 정의
Rs = ρ / t

여기서 Rs​는 면저항, ρ는 재료의 고유 저항(Resistivity, Ω·cm), t는 박막 두께(cm) 입니다.

 

3. 면저항의 단위
면저항의 단위는 Ω/sq (ohm per square)입니다.

여기서 sq는 면적을 나타내는 단위로, 정사각형 모양의 면적을 의미합니다.

면저항 값은 박막의 두께에 따라 달라집니다.

 

4. 면저항 측정 방법
면저항은 주로 4포인트 프로브(Four-point probe) 방법을 사용하여 측정합니다.

4포인트 프로브는 박막 표면에 4개의 탐침을 일정한 간격으로 접촉시켜 전류를 흘리고 전압을 측정하여 면저항 값을 계산합니다.

 

5. 면저항의 적용
면저항은 박막의 품질을 평가하고 공정 과정을 제어하는 데 중요한 지표로 사용됩니다.