장점 | 단점 | |
염소계 세정 | 런닝코스트 가 낮다 불연성 리사이클 가능 | 환경규제(지하오염) |
용제계 세정 | 런닝코스트가 낮다 리사이클 가능 | 인화성 인체영향 환경규제(오존오염) |
탄화수소계 세정 | 진공세정(대공세정 양호) 리사이클 가능 | 인화성 대응 세정장치가 필요 기름오염에 의외로 약함 |
취소(브롬)계 세정 | 불연성 염소계 세정기에서 사용가능 | 독성염려(구미에서는 유해성) 런닝코스트가 높다 |
수계 세정(알카리) | 불연성 간이장치 다른 세정과 조합 가능 | 물세정, 배수처리가 필요 리사이클 곤란 |